1、蓄熱式焚燒技術

蓄熱式焚燒設備的形式常見有二室和三室結構，處理大風量時也可以設計成五室七室等結構。

以三室結構為例：低濃度VOCs先通過已經蓄熱的第/一蓄熱槽吸熱，在燃燒室中焚化后再經過第二蓄熱槽放熱加熱蓄熱槽。

此外，第三蓄熱槽同時以小風量風機將風管與蓄熱槽內殘VOC氣體吹入燃燒室內燃燒裂解,吹掃風量依爐膛溫度進行調節，可避免吹掃風量過大造成爐膛溫度大幅降低，造成能源浪費。

三槽切換依序為進氣→吹除→排氣→進氣之順序進行。整個進排氣室間的切換是以提升閥切換進行批次操作。燃燒室通常保持在800-850℃并達某一段滯留時間去氧化有機廢氣。燃燒室與蓄熱室是一高/效率燃燒設備，VOC破壞去除效率一般能達到99.9%以上。

同時該設備一般設置緊急排放風門，防止爐膛超溫損壞蓄熱材。RTO爐采用的是微正壓設計，當爐膛壓力超過預設壓力時，為防止回火或發生爆/炸危險，緊急風門也會打開。

同時，為防止閥門超溫損傷，閥門設有空氣降溫管線；為保證煙氣溫度，緊急排放閥門后設有噴槍給煙氣降溫。燃燒器安裝于中間燃燒室上，有合適的天然氣燃料串組件，含入口過濾網的助燃風機與安全控制。燒嘴結構搭配陶瓷內襯，需周邊填實。燒嘴結構并配備有目視鏡以清楚地觀察主火火焰，以利于燃料氣和空氣的配比調整。并搭配火檢檢查火焰狀態。

2、光催化氧化技術

光催化氧化技術指的是通過光的作用而形成化學反應，讓揮發性有機廢氣包含的有害物質向無害化合物進行不斷轉化，讓揮發性有機廢氣自身污染性大大降低。起初，光催化氧化技術主要在處理廢水的方面應用，后來逐漸開始應用到處理廢氣。

現階段國內外的大量專家學者都對應用光催化氧化技術的應用展開了大量研究，其研究結果表明:若催化劑的選擇合理，應用光催化氧化技術可以讓揮發性有機廢氣去除污染物的比率高達51%-70%，具有明顯的處理效果。

應用光催化氧化技術時，特定波長的光照條件下，可借助催化劑具備的光催化性，讓表面揮發性有機化合物進行氧化還原反應，然后使有機物氧化成為H2O、CO2與無機小分子物質。通過UV紫外線的光束對揮發性有機廢氣進行照射，將其中的二甲苯、甲苯、苯等分子鏈結構進行裂解，讓高分子化合物的分子鏈經過紫外線高能光束的照射，向低分子的化合物進行轉變與裂解，比如H2O與CO2等。

同時，該光束還能將空氣氧分子有效分解成游離氧，游離氧自身正負電子不具有平衡性，和氧分子相互結合后會有臭氧形成。

由于臭氧自身氧化作用較強，因此，能夠充分清除低濃度的揮發性有機廢氣。按照揮發性有機廢氣濃度高度與風量大小，光催化氧化過程中為了讓設備的使用壽命、處理效果得到保證，需要進行廢氣源預處理的工作，將酸性的氣體預處理后方可讓其進入到凈化設備中。酸性氣體能夠很好地溶于水中，因此，預處理的工藝應采用弱堿性水洗裝置。

3、低溫等離子催化技術

不同于傳統的活性炭吸附等方式，該技術利用等離子體與催化手段的結合，能夠完成許多傳統方式難以解決的問題。將等離子體運用于低濃度VOCs廢氣排放處理始于20世紀80年代，那時候只是將等離子體技術進行單一使用，雖然也起到了一定的凈化效果，但是效率比較低，而且成本也高。

在后續應用中，人們發現將催化技術與等離子體技術相結合，能夠在凈化低濃度VOCs廢氣排放物時產生很高的效用，由此形成了現在使用的低溫等離子體催化技術。其不僅克服了高能耗的問題，還能夠節省大量的時間，擁有較高的凈化效率。

4、生物處理技術

與上述的廢氣處理技術相比，生物處理技術是一種無污染、無害的有機廢氣處理方式。該技術是通過微生物的生理過程來處理廢氣的，即將有機廢氣中的有害物質轉化為二氧化碳、水等簡單無機物。通常情況下，生物處理技術主要包括以下幾個步驟：其一，低濃度VOCs廢氣中的有機污染物與水接觸并發生反應，迅速溶解于水中；其二，在液膜中溶解的有機物，當液態濃度較低時，會向生物膜進行擴散，進而被附著在生物膜上的微生物吸收；其三，微生物吸收有機廢氣后，經過自身的生理代謝，轉化為對環境無害的化合物質，從而實現有機廢氣的降解。